由于在半导体等电子工业生产中的重要作用,电子特气被称为电子工业的“血液”
电子特气下游主要应用包括半导体、显示面板、光伏和LED。全球范围内来看,半导体行业对电子特气的需求占到总量的71%,显示面板需求占到18%。在国内范围中,半导体行业对电子特气需求占到国内总需求的42%,显示面板需求占到37%,这是由于我国的晶圆代工产业的发展稍显滞后。
纯度要求:
半导体行业使用的氮气大多直接接触电子零件,纯度需要达到ppm,ppb等级洁净度是控制粉尘粒径小于0.1..0.05m,压力露点-40℃℃...-70℃。
为了达到使用氮气的标准,通常会在气体传输到冷冻干燥机前端的气体上安装露点传感器,也可以安装在烘烤净晶体前面,这样可以更准确地监测氮气运输过程中的露点值,保持在极低的湿度,从而提高。
德国CS露点传感器FA 510测量气体中的微湿度,露点传感器,在-80°CDP至+20℃DP测量范围内气体中的微量湿度。用于在线测量空气和腐蚀性气体中的含水量(露点),可编程开关输出,用于报警信号,并对露点镜进行校准。结构坚固可靠,防护等级高。
FA 515 Ex防爆设计,用于化学污染、冷凝等恶劣环境,非常适合工业工艺气体供应或压缩干燥机效率监测。
FA 505-德国CS露点传感器,用于OEM应用
在半导体工业应用中,需要将氮气的纯度和清洁度控制在一定范围内,也因为它会直接接触,精细的加工工艺和微量水分的改善极大地影响了工艺中产品的产量。根据行业调査,25%以上的工业不良产品都是由于对低湿环境的无效控制造成的损害。可以看出,在气体供应和输送系统的规划中,与露点传感器配合进行监控是一个不容忽视的重要环节;监控与工艺相结合,可以随时监控反应物和产品的比例,完全燃烧帮助工厂节约成本。
我们为客户提供氮气纯度检测设备,压缩空气检测仪等多款产品。