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半导体行业气体中的露点测量是一个挑战,以99.9999%的高纯氮气为例,其水分含量低于1ppm,也就是100万个气体分子中, 不到1个水分子。如此微量的水分子含量, 对湿度传感器的灵敏度和准确性都是一个真正的考验。在过往,高精度的水分仪往往伴随着高成本,而随着金属氧化物陶瓷湿度传感器的开发,在精度和成本上的选择不再是鱼和熊掌不能兼得的困境。...
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